Høyoppløsende scanning elektron mikroskop (SEM)

Scanning elektronmikroskopi (SEM) er et uvurderlig verktøy for materialforskning og engineering, dette gjelder så vel makro som nano og mikrosystemer. Høyoppløsende SEM er essensielt for utvikling av nye materialer og forståelse av hvordan materialer reag erer med omgivelsene, ved for eksempel korrosjon. Lavspennings høyoppløsende SEM gjør det mulig å undersøke flere forskjellige materialer sammenlignet med standard SEM fordi de har en langt bedre lateral oppløsning og fordi ikke-lendende prøver lades mind re opp. Teknikken gir også mer overflateinformasjon på grunn av en betraktelig mindre penetrasjonsdybde. Instrumentet som IFE planlegger å kjøpe, vil bli spesifisert og utstyrt for å dekke behovet til de kartlagte brukergruppene. Det vil bli lagt størs t vekt på instrumentets oppløsning som vil bli spesifisert til 1 nm (10-9 m) eller bedre. Oppløsning ved lav spenning og muligheten for å se på prøver som større enn 150 mm (diameter) x 30 mm vil også bli tillagt stor vekt. Instrumentet vil bli utstyrt me d elementdetektor (energidispersiv røntgenspektroskop, EDS), i tillegg til vanlige detektorer for sekundærelektroner og tilbakespredte elektroner. Det er også ønskelig at instrumentet har en scanning transmission (STEM) detektor.