High Performance Laser Beam Scanner

In the first part of the project we have determined what are the micro-mirror specifications of the partners. In addition to angular deflection and the piston-stroke are also the resonance frequency, size, reflectivity and so on important for the many applications. Some of the partners have need for a micro-mirror with an aperture between 10mm and 25mm. That is significantly bigger we have produced so far, so it is going to be exciting to see how these micro-mirrors perform once they are produced. Design phase of the project is now competed and we have designed a few dozen variants of the two most promising new concepts of micro-mirrors which should allow us to reach desired angular deflection. We have made many subvariants of these designs to find the ones which give us both good deflection, while keeping the robustness of the micro-mirrors. One of the challenges has been to "populate the wafer" with such different designs of very different sizes. In micro-technology it is convenient to lay all the chips on the wafer of same size because of the sawing at the end of the process. If the chips have different sizes they have to be places in such a way which allows safe sawing at the end of the process.

Prosjektet må dessverre avsluttes før tiden da prosjektleder Polewall ikke er tilstrekkelig finansiert og den juridiske enheten planlegges avviklet. Det forventes derfor ingen målbare virkninger eller effekter.

Målet med prosjektet er å utvikle en ny generasjon med piezoaktuerte mikrospeil som har vinkel- og stempelutslag en faktor 4-10 ganger høyere enn dagens mikrospeil med anvendelse innen trådløs optisk kommunikasjon, gassmåling og laserprosjektorer. Hovedutfordringen i dette prosjektet er å få til et vinkelutslag som er flere ganger større enn dagens speil, men samtidig å bevare krav til rask respons, robusthet, planaritet og lav dynamisk deformasjon. Det er i hovedsak to teknologier for mikrospeil tilgjengelig i dag, resonante og ikke resonante. Resonante speil kan ha veldig stort vinkelutslag, men de må synkroniseres slik at laseren kun er på på når speilet er i riktig posisjon. SINTEF Minalab har utviklet ikke-resonante piezoaktuerte mikrospeil som er ekstremt planare og har høy resonansfrekvens på grunn av en stiv og robust membran. Ulempen med disse speilene er at vinkelutslaget så langt er begrenset til ca 1 grad optisk utslag. I dette prosjektet vil vi bruke kunnskapen vi har opparbeidet oss gjennom prosjektene MicroLabs, MicroTunis, Lab4MEMS II og NBRIX til å realisere mikrospeil med store utslag (3-10 grader) samtidig som høy resonansfrekvens og hardførhet mot vibrasjoner blir beholdt. Polewall utvikler en laserbasert løsning for trådløs overføring av data. Teknologien er spesielt egnet for fortetting av mobilnettet (4G/5G) via småceller, samt utbygging av bredbånd. Polewall er helt alene om sin teknologi for styring av laseren via piezoelektrisk drevet mikrospeil, og har mottatt betydelig oppmerksomhet rundt dette. NEO Monitors vil bruke mikrospeilet til å utvikle en gassensor med bedre nøyaktighet og mindre behov for vedlikehold til anvendelser innen utslippsmonitorering og prosesskontroll. NxTech vil bruke mikrospeilet til å lage en kompakt, trådløs prosjektorløsning.