GO4TGS - Gyro Optimized for Tactical Grade Systems

Gyroskop (gyroer) er enheter som hjelper kjøretøyer, droner og bærbare/håndholdte elektroniske enheter å vite hvor de befinner seg i et tredimensjonalt rom. Du finner dem i omtrent all elektronikk som vi benytter oss av i hverdagen. Målsettingen med dette prosjektet er å forbedre fabrikasjonen av Sensonors gyro sensorbrikke ved å utvikle en ny, avansert etseprosess for silisium. Prosessen gjør utformingen av mikrostrukturer i silisium mer nøyaktig; ned til nanometer-presisjon. Sensorbrikken fabrikert i silisium og glass benyttes i alle Sensonors gyro- og IMU (Inertial Measurement Unit)- produkter som allerede har en solid markedsposisjon. I tillegg til å ytterligere forbedre ytelsen til de aller beste gyro sensorbrikkene er ny etseprosess forventet å øke produksjonsavkastningen med en faktor fire. Prosjektet vil på denne måten forbedre Sensonors konkurransekraft og lønnsomhet gjennom økte muligheter til å penetrere nye fremvoksende markeder (f.eks.autonome kjøretøyer) og ved å styrke mulighetene for økte markedsandeler i eksisterende markeder. Sensonor og SINTEF MiNaLab har lagt et godt fundament for videre fabrikasjonsforbedring. En metode for å evaluere effekten av prosessparametervariasjon på den resulterende "tilt" er utviklet og første forsøksplan er gjennomført, no som gir en solid start på arbeidet for å utvikle nye og forbedrede fabrikasjonsprosesser for eksisterende Sensonor-produkter og for nye produkter som har spennende markedsmuligheter i jakten på et grønnere samfunn.

-

The underlying idea is to develop a new, advanced etching process with nanometer level accuracy that will increase the yield in the fabrication process for Sensonor's gyroscope sensor by at least a factor four . This gyroscope sensor is used in all Sensonor's gyro and IMU (Inertial Measurement Unit) products that today holds a solid market position. These products are in regular use at global leading companies in commercial, defense and aerospace applications. The main feature for increasing production efficiency is identified to be the slightly tilted angle that otherwise vertical silicon surfaces exhibit after the plasma-based through-etch of the silicon structures. This etch defines the springs of the mass/spring gyro system. The tilt will be minimized by developing a new etch process based on state-of-the-art etch tools. Additionally, deeper-lying mechanisms that reduce yield and keep performance from reaching its utmost potential will be explored and their effects reduced. The project will improve the competitiveness of Sensonor and at the same time increase utilization of raw materials and reduce waste. It will enable Sensonor to address markets currently not within reach due to product cost. Sensonor will use the innovations of this project to expand its market share in existing markets and penetrate new, emerging markets with large forecasted growth, such as autonomous vehicles. Sensonor and SINTEF MiNaLab will work together in this effort to develop new and improved fabrication processes for existing Sensonor products and for new products that have exciting market opportunities in the quest for a greener society. The improved process steps will be integrated into Sensonor's foundry services. This will enable industry to explore their novel product ideas by exploiting world class MEMS processes, with access to key personnel, and for Norwegian companies at a convenient location. These exciting opportunities will be widely advertised during this project.