Mikroteknologisatsingen - utstyrsmidler

Mikrosystemer er et viktig FoU området i Norge. Sentrale industribedrifter, institutter, høgskoler og universiteter er i Norge blitt enige om en samordning av forskning og utvikling innen mikroteknologi. Universitetet spiller en viktig rolle i dette sama rbeid ved forvaltning av basiskunnskaper og ekspertise, utdanning av forskere, kontaktflate til internasjonale forskningsmiljøer i framtidens mikroteknologi og utvikling av mikroteknologi i Norge. Det er inngått en intensjonsavtale mellom Matematisk Naturvitenskapelige Fakultet ved UiO og Forskningsrådet om satsing på mikroteknologi. Mat.Nat.Fak. planlegger en betydelig vekst i antall fast ansatte og studenter forutsatt finansiering angitt i avtal en. For 1999 vil utstyrsbevilgningen blir brukt innen: a) Tynnfilmsynteseutstyr basert på atomic layer epitaxi (ALE) med "chemical vapor deposition" (CVD). b) Basisutrustning for elektrisk karakterisering av silisium strukturer. Utstyret innen del b) vil bli anvendt innenfor flere kjerneprosjekter innen Nasjonalt Program for Mikroteknologi og mange utstyrsenheter kan være en ressurs for andre aktører i programmet. Vi har pågående prosjekter innen SUP MIKROSYS som vil dra nytte av utstyret samt samarbeidsprosjekt med SensoNor som vil dra nytte av utstyret. For 2000 vil utstyrsbevilgningen bli brukt innen: a) Tynnfilmsynteseutstyr basert på atomic layer epitaxi (ALE) med "chemical vapor deposition" (CVD). b) Utstyr til fremstilling av filmer og sol/gel og nanopartikkelmetoder (NANO). c) Basisutstyr for karakterisering av silisium strukturer. Utstyret innen del c) vil bli anvendt innenfor flere kjerneprosjekter innen Nasjonalt Program for Mikroteknologi og mange utstyrsenheter kan være en ressurs for andre aktører i programmet.