NANOTEKNOLOGI-NANOTEKNOLOGI
High-performance thin film piezoelectric microelectromechanical systems, Enhanced for Realistic Operating conditions
Siden midt på 70-tallet har mikroelektromekaniske systemer (MEMS) hatt stor betydning for vårt moderne, høyteknologiske samfunn. Tynnfilm-piezoelektriske MEMS (TFPMEMS) viderefører denne MEMS-arven, og brukes i dag i teknologiske anvendelser, som inkjet-printere, 3D-kameraer, gassdetektorer, og v...