High Performance Laser Beam Scanner

I første del av prosjektet har vi fått fram hvilke behov partnerne har til speilegenskaper. I tillegg til vinkelutslag og stempelutslag så er resonansfrekvens, størrelse, refleksjon etc. viktige for flere av anvendelsene. Noen av partnere i prosjektet hadde behov speil med aperture mellom 10mm til 25mm. Dette er betraktelig større enn hva som tidligere er blitt framstilt, så det blir spennende å se hvordan de fungere når de er ferdige. Designfase av prosjektet er nå over og vi har designet noen dusin varianter av to mest lovende nye konsepter av mikrospeil som skal tillate oss å oppnå ønsket vinkelutslag. Vi har laget flere undervarianter av disse designene for å finne utformingen som både gir bra utslag, men også bevarer robustheten til speilene. En av utfordringene har vært å "populere waferen? med så forskjellige design med veldig ulik størrelse. I mikroteknologi pleier vanligvis alle brikker på waferen å ha den samme størrelsen på grunn av saging på slutten av prosessen. Hvis brikker er av ulike størrelser må de plasseres på en måte som tillater saging på slutten av prosessen.

Prosjektet må dessverre avsluttes før tiden da prosjektleder Polewall ikke er tilstrekkelig finansiert og den juridiske enheten planlegges avviklet. Det forventes derfor ingen målbare virkninger eller effekter.

Målet med prosjektet er å utvikle en ny generasjon med piezoaktuerte mikrospeil som har vinkel- og stempelutslag en faktor 4-10 ganger høyere enn dagens mikrospeil med anvendelse innen trådløs optisk kommunikasjon, gassmåling og laserprosjektorer. Hovedutfordringen i dette prosjektet er å få til et vinkelutslag som er flere ganger større enn dagens speil, men samtidig å bevare krav til rask respons, robusthet, planaritet og lav dynamisk deformasjon. Det er i hovedsak to teknologier for mikrospeil tilgjengelig i dag, resonante og ikke resonante. Resonante speil kan ha veldig stort vinkelutslag, men de må synkroniseres slik at laseren kun er på på når speilet er i riktig posisjon. SINTEF Minalab har utviklet ikke-resonante piezoaktuerte mikrospeil som er ekstremt planare og har høy resonansfrekvens på grunn av en stiv og robust membran. Ulempen med disse speilene er at vinkelutslaget så langt er begrenset til ca 1 grad optisk utslag. I dette prosjektet vil vi bruke kunnskapen vi har opparbeidet oss gjennom prosjektene MicroLabs, MicroTunis, Lab4MEMS II og NBRIX til å realisere mikrospeil med store utslag (3-10 grader) samtidig som høy resonansfrekvens og hardførhet mot vibrasjoner blir beholdt. Polewall utvikler en laserbasert løsning for trådløs overføring av data. Teknologien er spesielt egnet for fortetting av mobilnettet (4G/5G) via småceller, samt utbygging av bredbånd. Polewall er helt alene om sin teknologi for styring av laseren via piezoelektrisk drevet mikrospeil, og har mottatt betydelig oppmerksomhet rundt dette. NEO Monitors vil bruke mikrospeilet til å utvikle en gassensor med bedre nøyaktighet og mindre behov for vedlikehold til anvendelser innen utslippsmonitorering og prosesskontroll. NxTech vil bruke mikrospeilet til å lage en kompakt, trådløs prosjektorløsning.